Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности машиноведение системы приводов и детали машин. Целью данной работы была разработка мехатронного модуля для нанотехнологического оборудования обеспечивающего наноточность перемещения при высокой грузоподъемности и минимальных габаритах. На данный момент: 1. Спроектирован и изготовлен опытный образец модуля 2. Разработана система управления обеспечивающая точность перемещения в 15 нм 3. Проведены экспериментальные иссследования по определению точности, разрешающей способности, грузоподемности и долговечности 4. Разработана математическая модель привода Работа была отмечена медалью на выставки НТТМ-2008 На данный момент диссертация не защищена