Часть отчета о НИР на тему "разработка, изготовление и испытания мехатронных модулей на базе малогабаритных конкурентоспособных роликовинтовых передач, шаговых микроэлектродвигателей и микропроцессорных систем управления для однокоординатных и многокоординатных подвижек наносистем и нанотехнологического оборудования"